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型 号: Stream 564
n 行 程: X轴 500 mm
Y轴 600 mm
Z轴 400 mm
¯ 结构型式:移动桥式
¯ 传动方式:高精密光杠+ 预载荷高精度空气轴承
¯ 长度测量系统:RENISHAW开放式光栅尺,分辨率为0.5μm
¯ 机 台:高精度花岗岩平台
¯ 使用环境:温度(20±2)℃,湿度55%-65% ,温度梯度1℃/m,温度变化 1℃/h
¯ 空气压力:0.4 MPa - 0.5 Mpa
¯ 空气流量:100 L/min – 120 L/min
¯ 整机尺寸(LWH):1.2 m X 1.4m X 2.3 m
¯ 机台承重:500 kg ,整机重量:850Kg
¯ 空间测量精度:(3.5+L/300)μm